[实用新型]显影剂喷淋系统有效
| 申请号： | 201921228259.6 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN210294805U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 荣卿烨 | 申请（专利权）人： | 无锡迪思微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 贾传美;赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影剂 喷淋 系统 | ||
【权利要求书】：
1.显影剂喷淋系统，其特征在于：包括：喷头，用于喷淋药剂；气动阀，进口接药剂罐、出口接喷头，用于控制喷头喷淋药剂的动作；电磁阀，制动端接控制器、出口接气动阀的制动端、进口接氮气罐，用于控制气动阀的启动；氮气罐，通过管道接药剂罐。
2.根据权利要求1所述的显影剂喷淋系统，其特征在于：电磁阀采用常闭型电磁阀。
3.根据权利要求1所述的显影剂喷淋系统，其特征在于：气动阀采用常闭型电磁阀。
4.根据权利要求1所述的显影剂喷淋系统，其特征在于：药剂罐为密封压力罐，其出液口接气动阀、进气口接氮气罐。
5.根据权利要求4所述的显影剂喷淋系统，其特征在于：氮气罐在出气口处接出料阀，出料阀具有两个出料口，分别通过管道接电磁阀进口、药剂罐进气口。
6.根据权利要求5所述的显影剂喷淋系统，其特征在于：出料阀采用常开型减压阀。
7.根据权利要求1所述的显影剂喷淋系统，其特征在于：控制器采用单片机或PLC。
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