[实用新型]一种芯片研磨时用吸取机构有效
申请号: | 201921175898.0 | 申请日: | 2019-07-25 |
公开(公告)号: | CN210434974U | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 殷泽安;殷志鹏 | 申请(专利权)人: | 苏州译品芯半导体有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B5/04;H01L21/304 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215143 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种芯片研磨时用吸取机构,包括底板、连接柱、工作台、卡槽、落料槽、进风口、吹风头、行架、电机、导向槽、导向块、落料仓、吸取口、螺纹孔、螺纹杆和轴承。在工作台的上表面开有卡槽,卡槽的形状以及深度与合格芯片的尺寸相同,可将芯片直接卡合在卡槽的内部,再使用研磨装置对芯片的背面进行研磨,以此来降低芯片的厚度,使用时较为简单;在工作台的顶端设有行架,通过电机可驱动行架顺着导向槽运动,以此来经过吹风头对工作台上表面进行吹扫,可将碎屑从落料槽吹落至落料仓的内部,再通过吸取口将研磨的碎屑排放至外界,便于对工作台的表面进行清洁。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 研磨 吸取 机构 | ||
【主权项】:
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