[实用新型]一种在线式石墨舟中硅片的检测系统有效
| 申请号： | 201921158393.3 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN209963021U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 何勇;黎俊龙;张彪 | 申请（专利权）人： | 深圳市艾特自动化有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司： | 44384 深圳市中科创为专利代理有限公司 | 代理人： | 谭雪婷;谢亮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种在线式石墨舟中硅片的检测系统，石墨舟设于上下片机上，上下片机通过上下片机PLC控制，硅片贴在石墨舟的舟页两边。硅片检测系统设于石墨舟的运行通道正上方，硅片检测系统包括：翘片检测系统、搭片检测系统、及工控机，所述翘片检测系统及搭片检测系统分别与工控机信号连接，上下片机上设有一翘片检测触发传感器，所述翘片检测触发传感器与上下片机PLC信号连接，翘片检测系统与上下片机PLC通过以太网进行连接。本实用新型能够实现在线硅片检测；整个检测时间为6～8秒，检测效率高，极大的提高了整体生产效率；提高了检测精度，同时降低了硅片碎片率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测系统 翘片 石墨舟 片机 检测 硅片 硅片检测系统 本实用新型 触发传感器 工控机 搭片 整体生产效率 硅片碎片 信号连接 运行通道 以太网 在线式 两边 | ||
【主权项】：
1.一种在线式石墨舟中硅片的检测系统，包括：PECVD机台、设于所述PECVD机台入料口这一侧的上下片机、设于所述上下片机上的运载托盘、设于所述运载托盘上的石墨舟、及控制所述上下片机作业的上下片机PLC，所述石墨舟包括若干并排设置的舟槽，每一所述舟槽包括若干并列设置的舟页，每个所述舟页的左右两边分别贴有硅片，其特征在于，所述石墨舟的运行通道正上方设有硅片检测系统，所述硅片检测系统包括：翘片检测系统、搭片检测系统、及工控机，所述翘片检测系统及所述搭片检测系统分别与所述工控机信号连接，所述上下片机上设有一翘片检测触发传感器，所述翘片检测触发传感器与所述上下片机PLC信号连接，所述翘片检测系统与所述上下片机PLC信号连接。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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