[实用新型]基于机器人的平面面形子孔径拼接干涉测量装置有效
| 申请号： | 201921158225.4 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN209991947U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 李萌阳;曹庭分;蒋晓东;周海;张尽力;全旭松;易聪之 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 50216 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 蔡冬彦 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于机器人的平面面形子孔径拼接干涉测量装置，包括干涉仪、工业机器人以及坐标系建立组件，所述干涉仪能够通过连接工装安装在工业机器人上，所述坐标系建立组件包括参考件和校准件，所述校准件包括能够安装在工业机器人上的连接盘和设置在连接盘一侧的校准杆，所述校准杆的延伸方向与连接盘的连接盘安装轴线平行，该校准杆与连接盘距离最远的一点为校准点。本实用新型具有结构灵活简单、应用范围广、高效安全、环境适应性好等优点，兼具子孔径干涉测量的高空间分辨率等优点，可以同时满足各种重力姿态下的大口径光学元件平面面形高精度在位测量问题，可以进行表面未经过镀膜或打毛等处理的平面面形测量。 | ||
| 搜索关键词： | 连接盘 工业机器人 本实用新型 坐标系建立 平面面形 干涉仪 校准杆 校准件 子孔径拼接干涉测量 大口径光学元件 高空间分辨率 平面面形测量 环境适应性 应用范围广 安装轴线 测量问题 干涉测量 高效安全 连接工装 组件包括 参考件 校准点 子孔径 打毛 镀膜 在位 机器人 平行 灵活 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种基于机器人的平面面形子孔径拼接干涉测量装置，其特征在于：包括干涉仪(2)、工业机器人(1)以及坐标系建立组件，所述干涉仪(2)能够通过连接工装(3)安装在工业机器人(1)上，并能够在工业机器人(1)的带动下对光学元件(4)进行平面面形子孔径拼接干涉测量，所述坐标系建立组件包括设置在工业机器人(1)旁的参考件(5)和基于参考件(5)进行校准的校准件(6)，所述校准件(6)包括能够安装在工业机器人(1)上的连接盘(61)和设置在连接盘(61)一侧的校准杆(62)，所述校准杆(62)的延伸方向与连接盘(61)的连接盘安装轴线(61a)平行，该校准杆(62)与连接盘(61)距离最远的一点为校准点(62a)；/n当干涉仪(2)安装在连接工装(3)上时，干涉仪(2)的光轴(2a)与连接工装(3)的连接工装安装轴线(3a)的间距等于校准点(62a)与连接盘安装轴线(61a)的间距，安装在干涉仪(2)前端的参考镜(7)前端面与连接工装(3)后端面的间距等于校准点(62a)与连接盘(61)后端面的间距。/n
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