[实用新型]一种激光平面干涉仪有效
| 申请号： | 201921154434.1 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN210180382U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 俞平 | 申请（专利权）人： | 浙江新泰通讯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/00;G01B11/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种激光平面干涉仪，包括密封罩，密封罩内底部设置有微调平台，微调平台上放置有置物台，密封罩顶部两侧对称设置有电动伸缩杆，一侧电动伸缩杆上固定伺服马达，伺服马达输出端设置有主转动台，另一侧电动伸缩杆固定有伺服马达，伺服马达输出端设置有副转动台，主转动台上设置有三个微型气缸，三个微型气缸呈T字形分布，位于中间的微型气缸输出端固定有直夹臂，另外两个微型气缸输出端固定有曲夹臂，两个曲呈夹臂对称设置，副转动台上设置有上设置有微型气缸，副转动台上的微型气缸固定有直夹壁，本实用新型结构合理，能够将测量后的物体在原位置进行翻面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 平面 干涉仪 | ||
【主权项】：
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