[实用新型]用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置有效

专利信息
申请号: 201921146082.5 申请日: 2019-07-22
公开(公告)号: CN210441824U 公开(公告)日: 2020-05-01
发明(设计)人: 冯西;虞建;王盼;刘中;张勇 申请(专利权)人: 成都新西旺自动化科技有限公司
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 成都拓荒者知识产权代理有限公司 51254 代理人: 邹广春
地址: 611731 四川省成都市高新区*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置,包括:检测平台,以及设置于检测平台上的相机系统、光源系统、移动平台和激光干涉仪;所述移动平台包括移动平台组件以及辅助固定组件,移动平台组件包括直线模组、工作台和待校准平台,工作台与直线模组通过丝杆传动连接,丝杆旋转带动工作台和待校准平台直线运动;辅助固定组件包括固定在检测平台上的侧向定位组件和固定在工作台上的前后定位组件,侧向定位组件用于将待校准平台在其两侧方向夹紧或松开,前后定位组件用于将待校准平台在其前后方向夹紧或松开,侧向定位组件和前后定位组件夹紧待校准平台的四个面,防止待校准平台相对工作台移动,从而提高校准的准确性。
搜索关键词: 用于 自由度 调节 平台 路径 精度 校准 装置
【主权项】:
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