[实用新型]一种硅片清洗装置有效
| 申请号： | 201921137829.0 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN210497454U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 葛正浩;魏林林;白鹏虞 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710021*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗装置，清洗装置通过多个传动机构动作相互配合，实现硅片的清洗动作，清洗效果大大提升。整体结构紧凑，承载能力强，操作简单。上下运动有固定导柱和滑轨，运动平稳、可靠。通过清洗装置实现上下大行程往复运动，液面下一定频率的上下微调，旋转运动，通过液体对硅片的冲刷作用，实现了对硅片的全方位的清洗；同时利用超声波在化学清洗液中的空化及直进流作用及化学试剂的腐蚀作用，快速清洗硅片表面污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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