[实用新型]喷头组件及清洗机台有效
| 申请号： | 201921049195.3 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN211027243U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 惠世鹏 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供的喷头组件，包括喷头主体和毛刷，在喷头主体上设置有喷头出口，毛刷与喷头主体连接，且毛刷的下边缘低于喷头出口的下边缘。借助毛刷的下边缘与喷头出口的下边缘之间的高度差，可以通过控制喷头出口的下边缘与晶圆之间的距离，来实现单独喷头主体清洗或喷头主体与毛刷共同清洗之间的切换，优化机械结构配置，并节省了工艺时间。本实用新型还提供了一种清洗机台。 | ||
| 搜索关键词： | 喷头 组件 清洗 机台 | ||
【主权项】：
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