[实用新型]薄膜厚度的测量装置有效
| 申请号： | 201920991578.6 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN209991941U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 李政 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B15/02 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种薄膜厚度的测量装置，其包括：样品承载台，参考样品及待测样品能够放置在所述样品承载台上；第一测量组件，能够实现第一测量方法；第二测量组件，能够实现第二测量方法；比较模块，用于将所述第一测量组件的测量结果与第二测量组件的测量结果进行比较，以得到校准参数；校准模块，利用所述校准参数对所述第一测量组件的测量结果进行校准。本实用新型薄膜厚度的测量装置能够对超薄单层薄膜的厚度及多层薄膜层交叠设置的结构的薄膜层的厚度进行准确测量，提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 第一测量 第二测量 本实用新型 测量装置 校准参数 薄膜 样品承载台 比较模块 参考样品 待测样品 单层薄膜 多层薄膜 交叠设置 校准模块 样品承载 准确测量 校准 薄膜层 测量 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜厚度的测量装置，其特征在于，包括：/n样品承载台，参考样品及待测样品能够放置在所述样品承载台上；/n第一测量组件，能够实现第一测量方法；/n第二测量组件，能够实现第二测量方法；/n比较模块，用于将所述第一测量组件的测量结果与第二测量组件的测量结果进行比较，以得到校准参数；/n校准模块，利用所述校准参数对所述第一测量组件的测量结果进行校准。/n
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