[实用新型]一种晶圆剪切力测试机有效
| 申请号： | 201920990218.4 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN210166244U | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 蒋次为 | 申请（专利权）人： | 成都汉芯国科集成技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/24 | 分类号： | G01N3/24;G01N3/02;G01N3/06;G01N3/08 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 梁伟东 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆剪切力测试机，涉及微电子测试领域。包括底座、支持座，以及设置于底座和支持座之间的支撑桩，所述支持座的两侧对称设置有测试臂；还包括设置于底座上的支撑杆，所述支撑杆上套设滑动环，滑动环上水平设置支持板，所述支持板的末端设置观察仪；所述底座上还设置有位移平台，所述位移平台上设置有位移机构，所述位移机构的顶端还包括放置平台，放置平台在竖直方向上的位置高度低于支持座和观察仪的高度，且测试臂的测试针的针头与放置平台接触；还包括数据处理模块。本实用新型可进行各种推拉力和剪切力测试，并且操作模式简易、方便、有效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 剪切 测试 | ||
【主权项】：
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