[实用新型]一种超高纯铜的制粒装置

摘要

本实用新型提供一种超高纯铜的制粒装置，包括高纯石墨装料坩埚、石英坩埚支撑套管和石英盛粒管；所述高纯石墨装料坩埚底部设置有滴孔，所述高纯石英坩埚支撑套管的外表面缠绕有加热线圈；所述石英坩埚支撑套管内设置有支撑环，所述石英坩埚支撑套管的下端与所述石英盛粒管通过下法兰套相连接并密封，所述坩埚支撑套管的上端设置有上法兰套，所述上法兰套顶部设置有密封盖；所述密封盖设置有进气口，所述下法兰套设置有出气口。本实用新型通过法兰密封将制备装置设计为整体密封装置，防止铜的氧化，并采用石英坩埚支撑套管和高纯石墨装料坩埚以及石英盛粒管，避免了其他金属或其他材质对金属铜粒的污染，且能够制备得到6N纯度的超高纯铜。