[实用新型]一种超高纯铜的制粒装置

权利要求书

1.一种超高纯铜的制粒装置，其特征在于，包括高纯石墨装料坩埚、石英坩埚支撑套管和石英盛粒管；

所述高纯石墨装料坩埚底部设置有滴孔；

所述石英坩埚支撑套管的外表面缠绕有加热线圈，所述石英坩埚支撑套管内设置有支撑环，用于放置高纯装料坩埚，所述石英坩埚支撑套管的下端与所述石英盛粒管通过下法兰套相连接并密封，所述坩埚支撑套管的上端设置有上法兰套，所述上法兰套顶部设置有密封盖；

所述密封盖设置有进气口，所述下法兰套设置有出气口，用于通入保护性气体。

2.根据权利要求1所述的制粒装置，其特征在于，所述坩埚支撑套管的周围设置有隔热板。

3.根据权利要求1所述的制粒装置，其特征在于，滴孔的直径为1～3mm。

4.根据权利要求1所述的制粒装置，其特征在于，所述盛粒管上设置有进水口和出水口。

5.根据权利要求1所述的制粒装置，其特征在于，所述盛粒管的高度为1.4～2m。

6.根据权利要求1所述的制粒装置，其特征在于，所述密封盖为紫铜密封盖，所述上法兰套为紫铜上法兰套，所述下法兰套为紫铜下法兰套。

7.根据权利要求1所述的制粒装置，其特征在于，还包括底座，所述底座与所述盛粒管的底部相连接。