[实用新型]一种集成电路加工用的真空蒸发设备有效
| 申请号： | 201920981872.9 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN210394500U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 李子考;凡永亮 | 申请（专利权）人： | 盐城华昱光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 黎芳芳 |
| 地址： | 224014 江苏省盐城市盐都*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种集成电路加工用的真空蒸发设备，包括腔室底座，所述腔室底座上表面设置有蒸发腔室，所述蒸发腔室一侧四角设置有滑动杆，所述滑动杆另一端连接有固定板，所述滑动杆末端设置有螺母，所述蒸发腔室一侧中间位置开设有腔室开孔，所述滑动杆外表面套设有移动板，所述移动板底端一侧套设有螺纹滑动杆，且移动板另一侧设置有蒸发源，所述螺纹滑动杆的一端设置有转动齿轮。通过设置用于驱动蒸发源进出蒸发腔室的电机组件，使蒸发源可以从移动板一端进出蒸发腔室，便于蒸发源的使用和维护，而且电机组件的增设，减少了人力支出，大大降低了人工操作蒸发源的难度，尤其是大体积大质量蒸发源的难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 工用 真空 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
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