[实用新型]热板腔盖、热板单元及匀胶机有效
| 申请号： | 201920981053.4 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN209992805U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 何彦君;黄斌;姚剑武 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/38;G03F7/40 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻机制造领域，提供了一种热板腔盖、热板单元及匀胶机。所述热板腔盖包括：本体，其上上设有一进出气孔；密封筒，密封固定于所述本体上，覆盖于所述出气孔上方，且所述密封筒的内径大于所述出气孔的孔径；进气管，与所述密封筒连接，提供向热板腔内充气的气道；排气管，与所述密封筒连接，提供向所述热板腔外抽气的气道。本实用新型通过使改造后的匀胶机可以适应挥发性较强的光刻胶的排气要求，同时也能向下兼容原先使用的光刻胶，提高了光刻机的利用率，也节约了采购新设备的费用。 | ||
| 搜索关键词： | 密封筒 热板 本实用新型 出气孔 光刻机 光刻胶 匀胶机 气道 腔盖 进出气孔 密封固定 排气要求 腔内充气 热板单元 向下兼容 挥发性 进气管 排气管 新设备 抽气 采购 节约 覆盖 制造 改造 | ||
【主权项】：
1.一种热板腔盖，其特征在于，包括：/n本体，其上设有一进出气孔；/n密封筒，密封固定于所述本体上，覆盖于所述出气孔上方，且所述密封筒的内径大于所述出气孔的孔径；/n进气管，与所述密封筒连接，提供向热板腔内充气的气道；/n排气管，与所述密封筒连接，提供向所述热板腔外抽气的气道。/n
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