[实用新型]MEMS麦克风及电子设备有效
| 申请号： | 201920977223.1 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN209949428U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 邱俊峰 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种MEMS麦克风，包括MEMS芯片，所述MEMS芯片包括衬底及架设在所述衬底上的电容器系统，所述电容器系统包括具有通孔的背极板及设置于所述背极板两侧的振膜，所述振膜包括第一振膜与第二振膜，所述第一振膜与第二振膜间设有支撑柱，所述支撑柱包括中间部及位于所述中间部两端的端部，所述端部与所述振膜的接触面的面积大于所述中间部沿振膜方向的横截面面积。本实用新型的麦克风，旨在解决当遇到较高的声压或者大气流时振膜产生剧烈振动造成支撑柱将振膜顶破，从而导致麦克风性能失效的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 振膜 支撑柱 中间部 本实用新型 电容器系统 麦克风 背极板 衬底 大气流 声压 通孔 架设 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，包括MEMS芯片，所述MEMS芯片包括衬底及架设在所述衬底上的电容器系统，所述电容器系统包括具有通孔的背极板及设置于所述背极板两侧的振膜，所述振膜包括第一振膜与第二振膜，所述第一振膜与第二振膜间设有支撑柱，所述支撑柱包括中间部及位于所述中间部两端的端部，其特征在于，所述端部与所述振膜的接触面的面积大于所述中间部沿振膜方向的横截面面积。/n
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