[实用新型]尾气处理收集装置

摘要

本实用新型涉及环境保护技术领域，提供一种尾气处理收集装置，包括处理腔室，所述处理腔室内设冷却腔室，所述处理腔室的尾气输入口与所述冷却腔室连通，所述冷却腔室沿尾气输入方向的两侧分别设有一组冷却件，所述冷却腔室内设有刮板件，所述刮板件与所述冷却腔室的内壁相切设置，所述冷却腔室通过收集管道与收集腔室连通。通过将MOCVD工艺中产生的尾气通入处理腔室内的冷却腔室内，其两侧的冷却件对冷却腔室内的尾气进行低温冷却，将尾气中的有毒物质凝结为固体颗粒物，通过设置刮板件，对附着在冷却腔室内壁上的有毒物质进行挂取收集，有效减少有毒物质的排放，保护环境。