[实用新型]防溅装置与晶圆处理设备

摘要

该实用新型涉及一种防溅装置与晶圆处理设备，其中所述防溅装置包括：闭合挡具，包括底板和设置在底板上方的侧壁，所述侧壁与所述底板相互连接，围成一底面闭合的空间，用于放置所述晶圆放置台，防止喷淋至所述晶圆放置台上表面的喷淋液溅出；清洗喷头，朝向所述闭合挡具内壁设置，用于出射清洗液清洗所述闭合挡具内壁附着的颗粒物杂质。本实用新型的防溅装置与晶圆处理设备具有闭合挡具，在有喷淋液喷淋晶圆放置台时，将所述晶圆放置台放置于所述闭合挡具所围成的空间内，可以很好的防止所述喷淋液溅射到所述闭合挡具外部，减小喷淋液结晶的形成，提高晶圆生产的良率。