[实用新型]一种烧结炉有效
申请号: | 201920969827.1 | 申请日: | 2019-06-25 |
公开(公告)号: | CN210435361U | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 邵晨晨;马远;廖朝俊;秦钟华;陈育松;廖均 | 申请(专利权)人: | 江苏振华新云电子有限公司 |
主分类号: | B22F3/10 | 分类号: | B22F3/10;H01G9/00;H01G9/052 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 赵李 |
地址: | 225000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请实施例提供了一种烧结炉,该烧结炉包括进气管路、气体循环泵、气体加热器、烧结腔、冷凝器和真空泵组。进气管路与气体循环泵的输入端连通;气体循环泵的输出端与气体加热器的输入端连通;气体加热器的输出端与烧结腔的进气口连通;烧结腔的出气口与冷凝器的输入端连通;冷凝器的输出端与气体循环泵的输入端连通;真空泵组与烧结腔连通。本申请通过将钽电容在同一位设备中完成了去除粘合剂的工艺过程与烧结工艺过程,从而避免了钽电容在不同工艺之间迁移带来的氧接触风险,降低了钽材料产生的氧杂质的含量,进而提高了钽电容的质量和良品率以及由于无需在单独进行两个工艺流程,从而省掉迁移时间,进而提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 烧结炉 | ||
【主权项】:
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