[实用新型]一种烧结炉

说明书

本申请实施例提供了一种烧结炉，该烧结炉包括进气管路、气体循环泵、气体加热器、烧结腔、冷凝器和真空泵组。进气管路与气体循环泵的输入端连通；气体循环泵的输出端与气体加热器的输入端连通；气体加热器的输出端与烧结腔的进气口连通；烧结腔的出气口与冷凝器的输入端连通；冷凝器的输出端与气体循环泵的输入端连通；真空泵组与烧结腔连通。本申请通过将钽电容在同一位设备中完成了去除粘合剂的工艺过程与烧结工艺过程，从而避免了钽电容在不同工艺之间迁移带来的氧接触风险，降低了钽材料产生的氧杂质的含量，进而提高了钽电容的质量和良品率以及由于无需在单独进行两个工艺流程，从而省掉迁移时间，进而提高了生产效率。

技术领域

本申请涉及烧结设备技术领域，具体而言，涉及一种烧结炉。

背景技术

阀金属粉末经常用来作为电容器的阳极凝聚粉末。最常用的阀金属材料为钽，以钽作为阳极的电容称为钽电容。在钽电容的制造过程中，阳极钽块由粉末压制后烧结而成。在粉末压制过程中需要加入化学粘合剂，粘合剂的化学杂质在烧结过程中会对电容器电性能和可靠性有重要影响。因此在烧结钽块阳极之前，需要完成钽块去除粘合剂的过程工艺。在传统工艺上，钽块去除粘合剂的过程工艺是在专用的设备中完成的，完成去除粘合剂的钽块需要从去除粘合剂的设备中取出放置到烧结炉中，完成烧结工艺。在上述钽块的转移过程中，会由于吸氧产生钽材料中的氧杂质。

钽电容在生产及加工过程中的增氧，是由于大部分氧元素吸附在阀金属粉末粉粒子的表面(高浓度的氧化物层)，氧随着温度的升高也会使氧离子向粒子内部迁移，导致阀金属粉末的氧污染。在阳极形成时，晶型结构的自然氧化物，在温度和场强的作用下会充当有效的晶核，在非晶形介质层基体上继续生长造成对介质层的破坏，会严重影响电容器的漏电流和可靠性。在后续的被模、老炼过程中，由于热应力和电场的冲击，会加剧对介质层疵点的破坏导致电容失效或击穿，降低产品的良品率以及产品的质量。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供了一种烧结炉，可以避免钽材料产生氧杂质，从而提高产品的良品率以及产品的质量。

第一方面，本申请的实施例提供一种烧结炉，其包括进气管路、气体循环泵、气体加热器、烧结腔、冷凝器和真空泵组；所述进气管路与所述气体循环泵的输入端连通；所述进气管路用于充入气体至所述气体循环泵，以通过所述气体循环泵将所述气体输入所述气体加热器；所述气体循环泵的输出端与所述气体加热器的输入端连通；所述气体循环泵用于在开启时，将加热后的气体通入到所述烧结腔并流经位于所述烧结腔内的钽电容表面，以通过高温气体带走所述钽电容内的粘合剂后流入所述冷凝器；所述气体加热器的输出端与所述烧结腔的进气口连通；所述气体加热器用于对进入的所述气体进行加热，并将加热后的所述气体输入所述烧结腔；所述烧结腔的出气口与所述冷凝器的输入端连通；所述烧结腔中盛放有携带有粘合剂的钽电容，所述烧结腔用于对除去所述粘合剂后的钽电容进行真空高温烧结；所述冷凝器的输出端与所述气体循环泵的输入端连通；所述冷凝器用于将所述气体所携带的所述粘合剂冷凝在所述冷凝器中，并将冷却后的气体输出至所述气体循环泵，进行气体循环以及还用于在所述烧结炉完成烧结后对所述烧结腔流出的高温气体进行降温冷却；所述真空泵组与所述烧结腔连通；所述真空泵组用于对所述烧结腔进行抽真空。

在上述实现过程中，本申请通过将钽电容在同一位设备中完成了去除粘合剂的工艺过程与烧结工艺过程，从而避免了钽电容在不同工艺之间迁移带来的氧接触风险，降低了钽材料产生的氧杂质的含量，进而提高了钽电容的质量和良品率。

结合第一方面，本申请实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，还包括出气管路和第一阀门，所述出气管路的输入端与所述第一阀门的输出端连通，所述第一阀门的输入端分别与所述冷凝器和所述气体循环泵连通。