[实用新型]分配装置及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201920961346.6 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN210765479U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 李强;徐义 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 王卫忠 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 涉及太阳能电池技术领域，提供一种分配装置及蒸镀装置，分配装置包括进气管以及分配管，所述进气管一端接通至蒸发源，所述进气管另一端与所述分配管连接；所述分配管包括与所述进气管连接的进气端，以及远离所述进气管的封口端；所述分配管为螺旋结构，且由进气端向封口端的外径呈逐步扩大；所述分配管上间隔地开设有多个出气孔。本实施例中分配装置，由蒸发源至被加工面之间采用渐开式螺旋管这种平滑过渡的布管送气方式，可以确保被加工面的单位面积上对应的出气孔分布均匀，从而提高蒸镀加工面的均匀性，提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 分配 装置 | ||
【主权项】：
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