[实用新型]一种用于离子束刻蚀设备的新型托盘有效
| 申请号： | 201920946981.7 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN209880537U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 李俊霖 | 申请（专利权）人： | 四川科尔威光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 51278 成都慕川专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李小金 |
| 地址： | 610041 四川省成都市高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种用于离子束刻蚀设备的新型托盘，涉及芯片技术领域。包括托盘本体和上盖。托盘本体的上表面开设有多个用于容纳产品的容纳槽，托盘本体下表面开设有多个散热槽，每个容纳槽均对应设置有一个散热槽。散热槽内设置有多个散热片，散热片平行、间隔设置且均垂直于散热槽的槽底，相邻两个散热片之间具有间隙，散热片开设有用于将相邻两个间隙连通的缺口。托盘本体还开设有用于将散热槽和容纳槽连通的连通孔，连通孔分布于间隙。上盖开设有用于使位于容纳槽中的产品露出的露出孔，露出孔略小于容纳槽的槽口，上盖可拆卸地盖合于托盘本体的上表面。其对产品固定作用好，同时还能进一步加强散热效率。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘本体 容纳槽 散热槽 散热片 上盖 连通孔 露出孔 上表面 芯片技术领域 离子束刻蚀 固定作用 间隔设置 间隙连通 散热效率 新型托盘 可拆卸 下表面 槽口 地盖 连通 平行 垂直 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种用于离子束刻蚀设备的新型托盘，其特征在于，包括：托盘本体和上盖；所述托盘本体的上表面开设有多个用于容纳产品的容纳槽，所述托盘本体下表面开设有多个散热槽，每个所述容纳槽均对应设置有一个所述散热槽；所述散热槽内设置有多个散热片，所述散热片平行、间隔设置且均垂直于所述散热槽的槽底，相邻两个所述散热片之间具有间隙，所述散热片开设有用于将相邻两个所述间隙连通的缺口；所述托盘本体还开设有用于将所述散热槽和所述容纳槽连通的连通孔，所述连通孔分布于所述间隙；/n所述上盖开设有用于使位于所述容纳槽中的所述产品露出的露出孔，所述露出孔略小于容纳槽的槽口，所述上盖可拆卸地盖合于所述托盘本体的上表面。/n
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