[实用新型]一种用于激光直写曝光机真空发生器的保护装置

摘要

本实用新型涉及一种用于激光直写曝光机真空发生器的保护装置，包括热继电保护器、温度控制器、真空发生器、散热风扇和隔热金属罩。热继电保护器包括热继电器和交流接触器。温度控制器包括温度采集端口T、温度探头Pt100、供电接口L和N、输出控制管脚一和输出控制管脚二。真空发生器包括供电接口一、供电接口二、供电接口三和保护端口PE。散热风扇包括供电管脚L和N。隔热金属罩罩设在真空发生器的外侧，散热风扇安装在隔热金属罩的顶部，温度探头Pt100位于隔热金属罩内。本实用新型能有效保护真空发生器，防止因过流、缺相、高温导致的损坏，提高激光直写曝光机的稳定性。

主权项

1.一种用于激光直写曝光机真空发生器的保护装置，其特征在于：包括热继电保护器、温度控制器、真空发生器、散热风扇和隔热金属罩；/n所述热继电保护器包括热继电器和交流接触器，所述热继电器和交流接触器均包括接线端口L1、L2、L3、T1、T2和T3；所述热继电器还包括常开端口NO3和NO4以及常闭端口NC3和NC4；所述交流接触器还包括常开端口NO1和NO2，常闭端口NC1和NC2以及控制端口A1和A2；所述热继电器的接线端口L1和交流接触器的接线端口T1相连；所述热继电器的接线端口L2和交流接触器的接线端口T2相连；所述热继电器的接线端口L3和交流接触器的接线端口T3相连；/n所述温度控制器包括温度采集端口T、温度探头Pt100、供电接口L和N、输出控制管脚一和输出控制管脚二；/n所述真空发生器包括供电接口一、供电接口二、供电接口三和保护端口PE；/n所述散热风扇包括供电管脚L和供电管脚N；/n所述隔热金属罩罩设在真空发生器的外侧，所述散热风扇安装在隔热金属罩的顶部，所述温度探头Pt100嵌入设置在隔热金属罩内；/n所述热继电器，其接线端口T1接火线L3，其接线端口T2接火线L2，其接线端口T3接火线L1，其接线端口T3接热继电器的常闭端口NC3，其常闭端口NC4接交流接触器的控制端口A2；所述交流接触器，其接线端口L1与真空发生器的供电接口三相连，其接线端口L2与真空发生器的供电接口二相连，其接线端口L3与真空发生器的供电接口一相连，其控制端口A1与零线N相连；所述真空发生器的保护端口PE接地；所述温度控制器，其供电接口N与零线N相连，其供电接口L与火线L1相连，其温度采集端口T与温度探头Pt100相连，其输出控制管脚一与散热风扇的供电管脚N相连，其输出控制管脚二与散热风扇的供电管脚L相连。/n