[实用新型]防溅射装置及开方系统有效
| 申请号： | 201920881321.5 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN210389719U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 杨东兵 | 申请（专利权）人： | 新疆晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/02;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 孟阿妮;张小勇 |
| 地址： | 835800 新疆维吾尔自*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防溅射装置及开方系统，涉及单晶硅和多晶硅的开方设备领域，避免硅粉水浆四处飞溅。本实用新型的主要技术方案为：一种防溅射装置，包括：切割部、固定部、包裹部和移动部；固定部固定于底座，用于固定硅棒；包裹部包括壳体和第一喷水管，壳体套接于硅棒，壳体设有多组通孔，每组通孔均包括第一通孔和第二通孔，切割部分别穿过第一通孔和第二通孔，用于切割硅棒，第一喷水管设置于壳体内，用于向硅棒的切割位置喷水；移动部连接于切割部和壳体，用于带动切割部和壳体沿硅棒轴向方向往复运动。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 开方 系统 | ||
【主权项】：
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