[实用新型]一种多级可调的椭偏测厚仪有效
| 申请号： | 201920864024.X | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN210293125U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 李让峰 | 申请（专利权）人： | 天津良益科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 天津市新天方专利代理有限责任公司 12104 | 代理人： | 张强 |
| 地址： | 300350 天津市津南区滨海民*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种多级可调的椭偏测厚仪，包括底座、试验台、激光器套筒、激光器、起偏器和检偏器，底座上设置试验台，试验台的一端开设两道平行的滑槽，激光器套筒的下部为固定座，上部为圆柱套筒，激光器套筒的固定座两侧开设螺纹孔，激光器套筒通过螺钉连接在试验台的滑槽上，试验台与激光器套筒的固定座之间垫有橡胶垫圈，激光器固定在激光器套筒上部的圆柱套筒内，激光器的出光口设置有光栅，光栅的出光一侧设有补偿器，本实用新型的起偏器的入射角度可通过齿轮组合调节，检偏器通过可旋转的立板和顶板调节角度，使得检偏器不仅可以平行于起偏器，检测播磨边缘部分的厚度，还可以垂直于起偏器，反射式测量法检测播磨的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多级 可调 测厚仪 | ||
【主权项】：
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