[实用新型]一种多级可调的椭偏测厚仪

权利要求书

1.一种多级可调的椭偏测厚仪，其特征在于，包括底座(1)、试验台(2)、激光器套筒(6)、激光器(8)、起偏器(12)和检偏器(17)，底座(1)上设置试验台(2)，试验台(2)的一端开设两道平行的滑槽，激光器套筒(6)的下部为固定座(5)，上部为圆柱套筒(7)，激光器套筒(6)的固定座(5)两侧开设螺纹孔，激光器套筒(6)通过螺钉(4)连接在试验台(2)的滑槽上，试验台(2)与激光器套筒(6)的固定座(5)之间垫有橡胶垫圈(3)，激光器(8)固定在激光器套筒(6)上部的圆柱套筒(7)内，激光器(8)的出光口设置有光栅(9)，光栅(9)的出光一侧设有补偿器(10)，试验台(2)的中间设有转轴柱(23)，转轴柱(23)的上端连接工作台(28)，工作台(28)的一侧通过转轴(27)支撑设有起偏器(12)，起偏器(12)的下部设置有从动齿轮(11)，工作台(28)上起偏器(12)的一侧设置电机(25)，电机(25)的输出轴上连接有主动齿轮(26)，主动齿轮(26)与从动齿轮(11)啮合传动，主动齿轮(26)上连接角度编码器(24)，起偏器(12)出光的一侧设置波片(13)，工作台(28)的中间设置样品台(29)，样品台(29)的两侧设置支撑轴(15)，支撑轴(15)的顶部转动连接置样槽(14)，样品台(29)上支撑轴(15)的两侧从样品台(29)的顶部向下开始有螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有螺杆(16)，螺杆(16)的顶端抵在置样槽(14)的底部，工作台(28)的另一侧设置检偏器固定座(30)，检偏器固定座(30)的两侧设置立板(20)，立板(20)通过销轴(19)与检偏器固定座(30)连接，两侧的立板(20)顶端通过销轴(19)连接有顶板(18)，顶板(18)的中间开设圆槽，圆槽内嵌入安装检偏器(17)，试验台(2)的另一端设置探测器(22)。

2.根据权利要求1所述的多级可调的椭偏测厚仪，其特征在于，所述的置样槽(14)的两侧中间设置耳板，耳板与支撑轴(15)转动连接。

3.根据权利要求1所述的多级可调的椭偏测厚仪，其特征在于，所述的检偏器(17)为圆形的刻度盘，刻度盘上设有检偏片。

4.根据权利要求1所述的多级可调的椭偏测厚仪，其特征在于，所述的探测器(22)前设置有透镜和光电倍增管(21)。