[实用新型]研磨液过滤装置有效
| 申请号： | 201920843199.2 | 申请日： | 2019-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN210205982U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 田得暄;辛君;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/00 | 分类号： | B01D19/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种研磨液过滤装置，所述装置包括：研磨液过滤器，用于过滤研磨液；设置在所述研磨液过滤器外壁的超声波发生器，用于发射超声波，以去除附着在所述研磨液过滤器内壁的气泡。本实用新型提供的研磨液过滤装置可以确保CMP工艺的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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