[实用新型]一种载具及生产线有效
| 申请号： | 201920797879.5 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN210620931U | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 苏明 | 申请（专利权）人： | 德州易能新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 韩来兵 |
| 地址： | 251200 山东省德州市（禹城）国家高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种载具及生产线，包括支撑层和连接于所述支撑层上方的接触层，所述支撑层的一个或多个竖直截面呈拱形。通过将支撑层的一个方向设计为拱形或多个方向设计为拱形，相较于同样上下边线的平面形的支撑层，其厚度较薄，用料减少，成本降低，而且质量较轻，重力作用下的向下弯曲和变形可减缓甚至避免；拱形的设计能够增加支撑层对接触层的支撑力，进一步减少重力作用下的向下弯曲和变形；在上述拱形设计和较薄厚度的基础上，增加了支撑层底部与腔室或闸阀通道底的间距，在支撑层发生形变时仍能避免传动拖底卡料，进一步提高了载具的耐受性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产线 | ||
【主权项】：
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