[实用新型]用于真空镀膜机的二维镀膜转架

摘要

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的二维镀膜转架，包括一维转动盘，一维转动盘上装有动力输入轴，沿一维转动盘的圆周装有多个转杆，每个转杆上固装有镀膜工件圆盘，与一维转动盘平行的圆环形盖板装在所述多个转杆的顶端，还包括有与一维转动盘平行且位于其下方的定齿盘，所述动力输入轴通过定齿盘轴承装于定齿盘的中心位置，动力输入轴的输入端伸至定齿盘的下方；多个所述转杆分别通过转杆轴承间隔均布装在一维转动盘的圆周上，每个转杆的顶端具有转杆轴，每个转杆以其顶端的转杆轴可转动地装在所述圆环形盖板上，每个转杆的底端固装有与所述定齿盘相啮合的底齿轮。应用本实用新型后对工件的镀膜效率较高、工件表面所镀膜层也相对均匀。

主权项

1.一种用于真空镀膜机的二维镀膜转架，包括有一维转动盘（10），一维转动盘的中心位置固装有动力输入轴（11），沿一维转动盘的圆周间隔均布装有多个转杆（12），每个转杆上固装有镀膜工件圆盘（20），沿镀膜工件圆盘（20）的圆周间隔均布装有多个镀膜工件插筒（21），与一维转动盘平行的圆环形盖板（30）装在所述多个转杆（12）的顶端，其特征在于：还包括有与所述一维转动盘（10）平行且位于一维转动盘下方的定齿盘（40），定齿盘与一维转动盘的轴线位于同一直线上，所述动力输入轴（11）通过定齿盘轴承（41）装于定齿盘（40）的中心位置，动力输入轴（11）的输入端伸至定齿盘的下方；多个所述转杆（12）分别通过转杆轴承（13）间隔均布装在一维转动盘的圆周上，每个转杆（12）的顶端具有转杆轴（14），每个转杆（12）以其顶端的转杆轴（14）可转动地装在所述圆环形盖板（30）上，每个转杆（12）的底端固装有与所述定齿盘（40）相啮合的底齿轮（15）。/n