[实用新型]一种新型增强AR增透膜的冷镀装置有效
| 申请号： | 201920792683.7 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN210085561U | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 芦亚东;朱小龙;孙志强;黄龙 | 申请（专利权）人： | 南阳英锐光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/52;G02B1/11;C23C14/54 |
| 代理公司： | 郑州知己知识产权代理有限公司 41132 | 代理人： | 季发军 |
| 地址： | 473000 *** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于镀膜技术领域，具体涉及一种新型增强AR增透膜的冷镀装置。一种新型增强AR增透膜的冷镀装置，包括真空罩，所述的真空罩的内腔顶部设置有光控系统和晶控系统分别与监视设备相连，所述的真空罩的下部开设有抽真空口，抽真空口处设置有抽真空机构，所述的真空罩内上方设置有用于放置待镀膜基片的基片固定架，真空罩底部基片固定架的下方设置有多个盛放AR膜料的AR坩埚和对应坩埚放置的电子枪，真空罩内还设置有高压离子轰击棒。该装置在120度低温环境下通过高压离子轰击棒进行轰击膜料分子进行镀膜，增加了膜层与基片的牢固度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 增强 ar 增透膜 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南阳英锐光电科技股份有限公司，未经南阳英锐光电科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920792683.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高稳定性齿轮安装支架
- 下一篇：高枝锯锯末防护伞
- 同类专利
- 专利分类
