[实用新型]一种抛光液循环冷却供液桶有效
| 申请号： | 201920780640.7 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN210024943U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 宋迎顺 | 申请（专利权）人： | 无锡精晶科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/03 | 分类号： | B24B55/03;B24B57/02 |
| 代理公司： | 32104 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 朱建均 |
| 地址： | 214171 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种抛光液循环冷却供液桶，属于半导体材料抛光技术领域。其包括供液桶本体，所述供液桶本体的桶壁是由内壁和外壁构成的双层结构，双层结构的内壁形成储液腔，双层结构的内壁与外壁之间形成循环冷却腔，其特征是：所述循环冷却腔通过隔板分为两个腔，用于进液的进液腔和用于出液的出液腔，在所述进液腔的内壁上开设有一个或多个入液孔，在所述出液腔的内壁上开设有一个或多个出液孔。本实用新型结构将供液桶分为储液腔、进液腔和出液腔，利用自身储蓄的抛光液对待使用的抛光液进行降温后循环利用，结构简单、实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 内壁 供液桶 双层结构 出液腔 进液腔 抛光液 本实用新型 循环冷却腔 储液腔 外壁 半导体材料 隔板 抛光技术领域 循环冷却 循环利用 出液孔 入液孔 进液 桶壁 储蓄 | ||
【主权项】：
1.一种抛光液循环冷却供液桶，包括供液桶本体（1），所述供液桶本体（1）的桶壁是由内壁（2）和外壁（3）构成的双层结构，双层结构的内壁（2）形成储液腔（4），双层结构的内壁（2）与外壁（3）之间形成循环冷却腔，其特征是：所述循环冷却腔通过隔板（5）分为两个腔，用于进液的进液腔（6）和用于出液的出液腔（7），在所述进液腔（6）的内壁（2）上开设有一个或多个入液孔（8），在所述出液腔（7）的内壁（2）上开设有一个或多个出液孔（9）。/n
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