[实用新型]一种抛光液循环冷却供液桶

说明书

本实用新型涉及一种抛光液循环冷却供液桶，属于半导体材料抛光技术领域。其包括供液桶本体，所述供液桶本体的桶壁是由内壁和外壁构成的双层结构，双层结构的内壁形成储液腔，双层结构的内壁与外壁之间形成循环冷却腔，其特征是：所述循环冷却腔通过隔板分为两个腔，用于进液的进液腔和用于出液的出液腔，在所述进液腔的内壁上开设有一个或多个入液孔，在所述出液腔的内壁上开设有一个或多个出液孔。本实用新型结构将供液桶分为储液腔、进液腔和出液腔，利用自身储蓄的抛光液对待使用的抛光液进行降温后循环利用，结构简单、实用性强。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料抛光技术领域，具体涉及一种抛光液循环冷却供液桶。

背景技术

抛光设备尤其是化学机械抛光设备是一种精密加工设备，其抛光过程所需的相对运动由抛光头和抛光盘之间的相对运动而产生。待抛光工件放在抛光头内，抛光垫粘贴在抛光盘表面，通过抛光头对工件施加一定压力，使工件压于抛光垫表面，依靠工件和抛光垫之间的相对运动，并借助于抛光液中的磨粒实现对工件表面的精加工。

抛光过程中，由于工件与抛光垫之间的摩擦及抛光液中磨粒的微观切削作用，将会产生大量的热，使抛光液温度升高，故在抛光液的循环使用中，若不对其进行降温处理将会加速化学机械抛光过程中的化学作用，从而造成化学作用与机械去除作用失衡，会使表面加工质量受到影响。现有技术需要另设冷却装置来冷却抛光液，结构复杂、成本高。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种抛光液循环冷却供液桶，该供液桶利用自身储蓄的抛光液对待使用的抛光液进行降温后循环利用，结构简单、实用性强。

按照本实用新型提供的技术方案，所述一种抛光液循环冷却供液桶，包括供液桶本体，所述供液桶本体的桶壁是由内壁和外壁构成的双层结构，双层结构的内壁形成储液腔，双层结构的内壁与外壁之间形成循环冷却腔，其特征是：所述循环冷却腔通过隔板分为两个腔，用于进液的进液腔和用于出液的出液腔，在所述进液腔的内壁上开设有一个或多个入液孔，在所述出液腔的内壁上开设有一个或多个出液孔。

进一步地，所述入液孔在所述内壁上侧沿周向均匀设置，所述出液孔在所述内壁下侧沿周向均匀设置。

进一步地，在所述储液腔的内壁上侧设有液位传感器，所述液位传感器连接有报警器。

进一步地，所述入液孔处设有滤网。

进一步地，所述出液孔处设有滤网。

进一步地，所述供液桶本体设有可拆卸式桶盖。

本实用新型结构通过设置双层结构桶壁，将供液桶分为储蓄抛光液的储液腔、用于进液的进液腔和用于出液的出液腔三个腔室，使得供液桶能利用自身储蓄的抛光液对待使用的抛光液进行降温后循环利用，结构简单、实用性强，能节约资源、降低成本。

附图说明

图1为本实用新型所述一种抛光液循环冷却供液桶的结构示意图。

附图标记说明：1-供液桶本体、2-内壁、3-外壁、4-储液腔、5-隔板、6-进液腔、7-出液腔、8-入液孔、9-出液孔、10-滤网、11-液位传感器、12-桶盖、13-回流管、14-供液管。

具体实施方式

下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。