[实用新型]一种应用于扩渗炉上的内冷却系统腔体

摘要

本实用新型提供一种应用于扩渗炉上的内冷却系统腔体，包括机柜、传动系统、加热体骨架、真空反应腔、双层水冷腔体、高效热交换器、热交换器支撑架、冷却风机，双层水冷风机法兰中间设置有腔体法兰密封圈，二者通过螺栓连接，进水嘴和出水嘴分别连接有进水管和出水管；双层水冷腔体内部安装热交换器支撑架，本实用新型具有如下的有益效果：通过增加双层水冷腔体能更加提高冷却效率，冷却水经过双层水冷腔体时能带走大量的热量，使工艺腔内降温速率更快，同时延长冷却系统腔体的使用寿命、提高安全性能；结构紧凑，减小空隙，使设备占用空间减小，拓展了设备的适用范围。

主权项

1.一种应用于扩渗炉上的内冷却系统腔体，包括机柜、传动系统、加热体骨架、真空反应腔、双层水冷腔体、高效热交换器、热交换器支撑架、冷却风机，其特征在于：所述机柜后侧安装有传动系统，加热体骨架与传动系统通过螺栓连接到一起，加热体安装在加热体骨架中；/n机柜底部安装双层水冷风机法兰，双层水冷风机法兰底部安装冷却风机，双层水冷风机法兰顶部安装双层水冷腔体，双层水冷风机法兰中间设置有腔体法兰密封圈，二者通过螺栓连接，双层水冷腔体外壁下侧焊接有进水嘴，双层水冷腔体外壁上侧部焊接有出水嘴，进水嘴和出水嘴分别连接有进水管和出水管；/n双层水冷腔体内部安装热交换器支撑架，热交换器支撑架固定于双层水冷风机法兰顶部，高效热交换器安装在热交换器支撑架中部。/n