[实用新型]一种冷却装置有效
| 申请号： | 201920738646.8 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN209989456U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 周磊;窦沛静;丁媛 | 申请（专利权）人： | 天津市凌云精密机电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市河西区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种冷却装置，包括连接座、机架和外壳体，所述连接座内腔插接安装有密封塞，所述连接座上端固定安装有传动机构，所述连接座下端固定安装有传动机构，所述机架上端通过第一密封轴承活动安装有外壳体，所述机架上端内侧开有第二冷却腔体，所述机架上端内侧固定安装有传动筒，所述传动筒内端壁上端固定安装有圆板，所述圆板上端固定安装有轴承，该冷却装置，使得靶材在腔体内旋转，冷却结构在靶材内，并连接在上部及底部驱动，整体做循环系统，达到冷却效果。本实用新型可以保证靶材的使用寿命及周期，保证产品质量，可以提高旋转机构之间的密封性，防止冷却水外流。 | ||
| 搜索关键词： | 上端固定 上端 连接座 靶材 本实用新型 冷却装置 传动筒 外壳体 圆板 连接座内腔 插接安装 活动安装 冷却结构 冷却腔体 冷却效果 密封轴承 使用寿命 旋转机构 循环系统 冷却水 密封塞 密封性 内端壁 下端 轴承 外流 体内 保证 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种冷却装置，包括连接座(1)、机架(2)和外壳体(4)，其特征在于：所述连接座(1)内腔插接安装有密封塞(3)，所述连接座(1)上端固定安装有传动机构(11)，所述连接座(1)下端固定安装有传动机构(11)，所述机架(2)上端通过第一密封轴承(5)活动安装有外壳体(4)，所述机架(2)上端内侧开有第二冷却腔体(41)，所述机架(2)上端内侧固定安装有传动筒(51)，所述传动筒(51)内端壁上端固定安装有圆板(52)，所述圆板(52)上端固定安装有轴承(53)，所述轴承(53)上端固定安装有靶材本体(6)，所述靶材本体(6)与传动筒(51)的夹层内固定安装有密封套(54)，所述密封套(54)内端固定安装有第二密封轴承(55)，所述靶材本体(6)外端壁上侧固定安装有第三密封轴承(61)，所述外壳体(4)的外侧壁固定安装有进液孔(71)，所述外壳体(4)内侧开有第一冷却腔体(7)。/n
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