[实用新型]气动波纹管驱动超精密二维定位平台有效
| 申请号： | 201920723064.2 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN209936863U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 田艳兵;徐亚明;魏巍;祝景洋;徐启航;杜隆坤 | 申请（专利权）人： | 青岛理工大学 |
| 主分类号： | B25H1/14 | 分类号： | B25H1/14 |
| 代理公司： | 37247 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 马千会 |
| 地址： | 266033 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于超精密机械技术领域，涉及一种超精密定位平台。超精密二维定位平台，包括气动伺服定位平台；所述的气动伺服定位平台包括气浮导轨、波纹管、支撑系统、载物台、气源；所述的支撑系统包括互相垂直的X轴支撑架Y轴支撑架；所述气浮导轨安装在支撑系统上；所述波纹管与气浮导轨连接，用于驱动气浮导轨在两个自由度X、Y方向上位移；所述载物台安装在所述气浮导轨上；所述波纹管和气浮导轨与气源连接。本实用新型的气动波纹管驱动超精密二维定位平台，平台两个自由度X，Y方向上的位移，都是由电气比例阀通过控制波纹管的伸缩，驱动气浮导轨来实现的。相比现有技术，本实用新型的平台结构精简，能够实现平台的二维超精密定位。 | ||
| 搜索关键词： | 气浮导轨 波纹管 本实用新型 支撑系统 定位平台 二维定位 气动伺服 超精密 驱动 气源 超精密定位平台 超精密定位 超精密机械 电气比例阀 气动波纹管 互相垂直 平台结构 载物台 伸缩 导轨 二维 | ||
【主权项】：
1.超精密二维定位平台，包括气动伺服定位平台；其特征在于：所述的气动伺服定位平台包括气浮导轨、波纹管、支撑系统、载物台、气源；所述的支撑系统包括互相垂直的X轴支撑架Y轴支撑架；所述气浮导轨安装在支撑系统上；所述波纹管与气浮导轨连接，用于驱动气浮导轨在两个自由度X、Y方向上位移；所述载物台安装在所述气浮导轨上；所述波纹管和气浮导轨与气源连接。/n
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