[实用新型]带维持泵的罗茨真空机组有效

专利信息
申请号: 201920708659.0 申请日: 2019-05-16
公开(公告)号: CN210050034U 公开(公告)日: 2020-02-11
发明(设计)人: 许凤华;张有山;朱磊;张蒙;佘丽慧 申请(专利权)人: 沈阳海普瑞真空科技有限公司
主分类号: F04C25/02 分类号: F04C25/02;F04C18/12;F04C23/00
代理公司: 11582 北京久维律师事务所 代理人: 邢江峰
地址: 110000 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型公开了带维持泵的罗茨真空机组,包括第一进气口、第一阀门、小水环泵、大水环泵、第一罗茨泵、第二罗茨泵和第二阀门,所述第一进气口的背面与第二进气口的正面相连通,所述第一进气口的右侧与预抽管路的左侧相连通,所述第一阀门固定安装在预抽管路的内部,所述预抽管路的底端与第二连接管的顶端相连通,所述第一罗茨泵的顶端通过法兰盘与第一进气口的底端固定连接,所述第一罗茨泵的右侧与主管路的左侧相连通。本实用新型设置有两种空气流通通道,工作室能以最短时间达到要求的真空度,并且第一罗茨泵和第二罗茨泵不会因为进排气口压差过大导致损坏,并且缩短了装置整体的启动时间,使得抽气效率更高。
搜索关键词: 进气口 罗茨泵 阀门 预抽 本实用新型 底端 连通 空气流通通道 罗茨真空机组 抽气效率 进排气口 法兰盘 连接管 主管路 工作室 压差 背面
【主权项】:
1.带维持泵的罗茨真空机组,包括第一进气口(1)、第一阀门(4)、小水环泵(8)、大水环泵(9)、第一罗茨泵(12)、第二罗茨泵(13)和第二阀门(14),其特征在于:所述第一进气口(1)的背面与第二进气口(2)的正面相连通,所述第一进气口(1)的右侧与预抽管路(3)的左侧相连通,所述第一阀门(4)固定安装在预抽管路(3)的内部,所述预抽管路(3)的底端与第二连接管(7)的顶端相连通,所述第一罗茨泵(12)的顶端通过法兰盘与第一进气口(1)的底端固定连接,所述第一罗茨泵(12)的右侧与主管路(5)的左侧相连通,所述第二罗茨泵(13)的顶端与主管路(5)的底端相连通,所述第一罗茨泵(12)和第二罗茨泵(13)的底端皆固定在固定架(11)的表面,所述第二罗茨泵(13)的底端固定连接有第一连接管(6),所述小水环泵(8)的正面顶端与第一连接管(6)的底端固定连接,所述小水环泵(8)的背面顶端通过法兰盘与第二连接管(7)的右侧相连接,所述大水环泵(9)的顶端右侧与第二连接管(7)的左侧相连通,所述大水环泵(9)的顶端左侧固定安装有排气口(10),所述小水环泵(8)和大水环泵(9)的底端皆固定焊接在固定架(11)的表面,所述第二阀门(14)固定安装在第一进气口(1)的内部。/n
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