[实用新型]参考平面镜承载装置以及激光干涉检测设备有效
| 申请号： | 201920697584.0 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN209979914U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 王全召;韩森;李雪园;王芳;卢庆杰 | 申请（专利权）人： | 苏州慧利仪器有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;G01B9/02 |
| 代理公司： | 31204 上海德昭知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郁旦蓉;刘国华 |
| 地址： | 215164 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种参考平面镜承载装置以及激光干涉检测设备。本实用新型的参考平面镜承载装置包括：平面镜承载部；以及微位移部，用于驱动平面镜承载部沿光轴方向进行微小的位置移动，其中，平面镜承载部含有承载盘安装座以及安装在该承载盘安装座上的承载盘，微位移部含有对应布置的固定板和移动板、至少两个弹性连接件、以及至少一个压电陶瓷封装驱动件，承载盘安装座安装在移动板的下端面，压电陶瓷封装驱动件具有两个端盖以及用于使该两个端盖相对移动的压电陶瓷圈，两个端盖分别与固定板的下端面和移动板的上端面相触接，一个端盖的内端设有与压电陶瓷圈的形状相匹配的凸台，压电陶瓷圈位于两个端盖之间并套接在凸台的外部。 | ||
| 搜索关键词： | 压电陶瓷 端盖 承载盘 安装座 平面镜 移动板 本实用新型 参考平面镜 承载装置 承载 固定板 驱动件 微位移 下端面 凸台 封装 激光干涉检测 弹性连接件 光轴方向 相对移动 上端 触接 内端 套接 匹配 驱动 外部 | ||
【主权项】：
1.一种参考平面镜承载装置，安装在具有准直透镜的激光干涉检测设备上并且与所述准直透镜同光轴设置，用于承载参考平面镜并带动该参考平面镜相对于所述准直透镜进行微小位置移动，其特征在于，包括：/n平面镜承载部；以及/n微位移部，用于驱动所述平面镜承载部沿光轴方向进行微小位置移动，/n其中，所述平面镜承载部含有承载盘安装座以及安装在该承载盘安装座上用于放置参考平面镜的承载盘，/n所述微位移部含有对应布置的固定板和移动板、用于连接所述固定板和所述移动板的至少两个弹性连接件、以及用于驱动所述移动板相对于所述固定板进行微小位置移动的至少一个压电陶瓷封装驱动件，/n所述承载盘安装座安装在所述移动板的外端面，并且所述固定板和所述移动板均设有与所述参考平面镜的形状相匹配用于检测光束穿过的开口部，/n所述压电陶瓷封装驱动件具有两个端盖以及用于使该两个端盖相对移动的压电陶瓷圈，/n所述两个端盖分别与所述固定板和所述移动板的内端面相触接，一个所述端盖的内端设有与所述压电陶瓷圈的形状相匹配的凸台，/n所述压电陶瓷圈位于所述两个端盖之间并套接在所述凸台的外部。/n
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