[实用新型]一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀有效

专利信息
申请号: 201920693501.0 申请日: 2019-05-15
公开(公告)号: CN209943626U 公开(公告)日: 2020-01-14
发明(设计)人: 蒋恒深;李洪聪;米金鹏;刘珍;高珂珂;崔丹 申请(专利权)人: 无锡艾里森科技有限公司
主分类号: F16K27/00 分类号: F16K27/00;B01D35/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214104 江苏省无锡市锡山区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀,涉及半导体生产设备领域,包括膨胀阀主体,膨胀阀主体的底端中部固定连接有流出管,膨胀阀主体的一侧底端固定连接有流进管,流进管的中部固定连接有过滤装置,过滤装置的前侧中部和后侧中部对称设有旋柄,旋柄靠近过滤装置的一侧中部固定连接螺杆的一端,螺杆的另一端螺纹连接有螺母,螺母的底端固定连接有导向滑块,螺母的顶端固定连接有传动杆,传动杆的一侧顶端固定连接有卡接杆。本实用新型能够对流入阀内的液体进行过滤,避免了液体中的杂质引起电子膨胀阀的堵塞,保证了电子膨胀阀的正常使用,延长了电子膨胀阀的使用寿命。
搜索关键词: 电子膨胀阀 螺母 过滤装置 膨胀阀 底端 本实用新型 侧中部 传动杆 进管 旋柄 半导体生产设备 固定连接螺杆 半导体生产 导向滑块 螺纹连接 使用寿命 卡接杆 流出管 流入阀 螺杆 温控 过滤 对称 堵塞 保证
【主权项】:
1.一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀,包括膨胀阀主体(1),其特征在于:所述膨胀阀主体(1)的底端中部固定连接有流出管(2),所述膨胀阀主体(1)的一侧底端固定连接有流进管(3),所述流进管(3)的中部固定连接有过滤装置(4),所述过滤装置(4)与流进管(3)连通,所述过滤装置(4)的前侧中部和后侧中部对称设有旋柄(5);/n所述旋柄(5)靠近过滤装置(4)的一侧中部固定连接螺杆(6)的一端,所述螺杆(6)的另一端插入过滤装置(4),所述螺杆(6)的另一端端部通过旋转接头与过滤装置(4)的内壁活动连接,所述螺杆(6)的另一端螺纹连接有螺母(7),所述螺母(7)的底端固定连接有导向滑块(8),所述螺母(7)的顶端固定连接有传动杆(10),所述传动杆(10)的一侧顶端固定连接有卡接杆(11),所述过滤装置(4)的上表面中部开设有插槽(12),所述插槽(12)内插接有插板(13),所述插板(13)的上表面中部固定连接有拉把(14),所述插板(13)的两侧上端均开设有卡接槽(15)。/n
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