[实用新型]一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀

权利要求书

1.一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀，包括膨胀阀主体（1），其特征在于：所述膨胀阀主体（1）的底端中部固定连接有流出管（2），所述膨胀阀主体（1）的一侧底端固定连接有流进管（3），所述流进管（3）的中部固定连接有过滤装置（4），所述过滤装置（4）与流进管（3）连通，所述过滤装置（4）的前侧中部和后侧中部对称设有旋柄（5）；

所述旋柄（5）靠近过滤装置（4）的一侧中部固定连接螺杆（6）的一端，所述螺杆（6）的另一端插入过滤装置（4），所述螺杆（6）的另一端端部通过旋转接头与过滤装置（4）的内壁活动连接，所述螺杆（6）的另一端螺纹连接有螺母（7），所述螺母（7）的底端固定连接有导向滑块（8），所述螺母（7）的顶端固定连接有传动杆（10），所述传动杆（10）的一侧顶端固定连接有卡接杆（11），所述过滤装置（4）的上表面中部开设有插槽（12），所述插槽（12）内插接有插板（13），所述插板（13）的上表面中部固定连接有拉把（14），所述插板（13）的两侧上端均开设有卡接槽（15）。

2.根据权利要求1所述的一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀，其特征在于：所述过滤装置（4）的内壁上开设有导向槽（9），所述导向滑块（8）位于导向槽（9）内，所述导向滑块（8）与导向槽（9）滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀，其特征在于：所述插槽（12）的截面为倒凸型，所述插板（13）与插槽（12）相适配。

4.根据权利要求1所述的一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀，其特征在于：

所述卡接槽（15）的横截面为直角三角形，所述卡接杆（11）的一端贯穿至插槽（12）内，所述卡接杆（11）的一端设置为斜面，所述卡接杆（11）的一端与卡接槽（15）相适配。

5.根据权利要求1所述的一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀，其特征在于：

所述插板（13）的中部开设有环形槽（16），所述环形槽（16）内镶嵌有密封圈（17），所述密封圈（17）与插槽（12）贴合。

6.根据权利要求1所述的一种基于半导体生产的温控用电子膨胀阀，其特征在于：

所述插板（13）的底端固定连接有过滤网，所述过滤网与流进管（3）相适配。