[实用新型]用于籽晶生长的夹持装置有效

专利信息
申请号: 201920688870.0 申请日: 2019-05-15
公开(公告)号: CN210048878U 公开(公告)日: 2020-02-11
发明(设计)人: 陈翼;陈松松;于中兴 申请(专利权)人: 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
主分类号: C30B15/32 分类号: C30B15/32;C30B29/20
代理公司: 32205 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 孟洁
地址: 221000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开一种用于籽晶生长的夹持装置,包括夹持部,夹持部一端与钼接头连接,另一端与籽晶连接,夹持部包括圆柱段,圆柱段下部连接有圆锥段,圆锥段底部开设有用于放置籽晶棒的盲孔,圆锥段一侧开设有凹槽,凹槽内开设有不贯穿圆锥段的销轴孔,销轴孔开设在盲孔中部,且与盲孔连通;还包括与销轴孔配合的籽晶卡销。本实用新型采用销轴的方式,将籽晶固定在夹持部,拆装方便,便于操作,且对石墨纸没有磨损,连接稳固性好,有效地防止籽晶掉落事故的发生。本实用新型结构简单,易于制造,且制造成本低。
搜索关键词: 夹持部 圆锥段 籽晶 本实用新型 销轴孔 盲孔 圆柱段 连接稳固性 拆装方便 夹持装置 接头连接 制造成本 籽晶生长 石墨纸 有效地 籽晶棒 掉落 卡销 内开 销轴 磨损 连通 贯穿 制造 配合
【主权项】:
1.一种用于籽晶生长的夹持装置,其特征在于,包括夹持部,夹持部一端与钼接头连接,另一端与籽晶连接,夹持部包括圆柱段,圆柱段下部连接有圆锥段,圆锥段底部开设有用于放置籽晶棒的盲孔,圆锥段一侧开设有凹槽,凹槽内开设有不贯穿圆锥段的销轴孔,销轴孔开设在盲孔中部,且与盲孔连通;还包括与销轴孔配合的籽晶卡销。/n
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