[实用新型]用于籽晶生长的夹持装置有效
申请号: | 201920688870.0 | 申请日: | 2019-05-15 |
公开(公告)号: | CN210048878U | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 陈翼;陈松松;于中兴 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B29/20 |
代理公司: | 32205 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 孟洁 |
地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种用于籽晶生长的夹持装置,包括夹持部,夹持部一端与钼接头连接,另一端与籽晶连接,夹持部包括圆柱段,圆柱段下部连接有圆锥段,圆锥段底部开设有用于放置籽晶棒的盲孔,圆锥段一侧开设有凹槽,凹槽内开设有不贯穿圆锥段的销轴孔,销轴孔开设在盲孔中部,且与盲孔连通;还包括与销轴孔配合的籽晶卡销。本实用新型采用销轴的方式,将籽晶固定在夹持部,拆装方便,便于操作,且对石墨纸没有磨损,连接稳固性好,有效地防止籽晶掉落事故的发生。本实用新型结构简单,易于制造,且制造成本低。 | ||
搜索关键词: | 夹持部 圆锥段 籽晶 本实用新型 销轴孔 盲孔 圆柱段 连接稳固性 拆装方便 夹持装置 接头连接 制造成本 籽晶生长 石墨纸 有效地 籽晶棒 掉落 卡销 内开 销轴 磨损 连通 贯穿 制造 配合 | ||
【主权项】:
1.一种用于籽晶生长的夹持装置,其特征在于,包括夹持部,夹持部一端与钼接头连接,另一端与籽晶连接,夹持部包括圆柱段,圆柱段下部连接有圆锥段,圆锥段底部开设有用于放置籽晶棒的盲孔,圆锥段一侧开设有凹槽,凹槽内开设有不贯穿圆锥段的销轴孔,销轴孔开设在盲孔中部,且与盲孔连通;还包括与销轴孔配合的籽晶卡销。/n
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