[实用新型]高精度光学实验平台设备

摘要

本实用新型公开了一种高精度光学实验平台设备，包括粗对焦机构、细对焦机构和检测机构，所述粗对焦机构包括驱动所述检测机构在Z轴方向上运动的驱动单元，所述细对焦机构包括实验平台、分别驱动所述实验平台在X轴、Y轴、Z轴方向上运动的第一调节单元、第二调节单元和第三调节单元，所述第一调节单元、第二调节单元和第三调节单元均包括设置在实验平台上的调节块、能够对调节块施加第一作用力的螺旋测微件、能够对所述调节块施加第二作用力的复位弹簧，所述第一作用力和第二作用力大小相同且方向相反。本实用新型至少包括以下优点：采用粗对焦和细细对焦相结合的方式，一方面保证了测量精度，另一方面通过手动调节的方式，降低了生产成本。