[实用新型]高精度光学实验平台设备

说明书

本实用新型公开了一种高精度光学实验平台设备，包括粗对焦机构、细对焦机构和检测机构，所述粗对焦机构包括驱动所述检测机构在Z轴方向上运动的驱动单元，所述细对焦机构包括实验平台、分别驱动所述实验平台在X轴、Y轴、Z轴方向上运动的第一调节单元、第二调节单元和第三调节单元，所述第一调节单元、第二调节单元和第三调节单元均包括设置在实验平台上的调节块、能够对调节块施加第一作用力的螺旋测微件、能够对所述调节块施加第二作用力的复位弹簧，所述第一作用力和第二作用力大小相同且方向相反。本实用新型至少包括以下优点：采用粗对焦和细细对焦相结合的方式，一方面保证了测量精度，另一方面通过手动调节的方式，降低了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及了实验平台技术领域，具体的是一种高精度光学实验平台设置。

背景技术

本部分的描述仅提供与本实用新型公开相关的背景信息，而不构成现有技术。

随着远心光学技术的不断进步，以其高精度、大景深、低畸变的独特远心光路设计原理，大大降低了工业生产的测量误差，提高了检测精度。并且随着近几年自动化产业技术的迅猛发展，客户对检测精度的要求也进一步提高，传统的光学实验平台在测量精度以及视觉系统兼容性方面都无法满足现代工业生产要求，取而代之的时高精度光学实验平台，开始逐步渗透于自动化行业中的视觉分支中。但目前，大多数实验平台应用在实验室中，其若为全自动化调整，成本较高。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型实施例提供了一种高精度光学实验平台设备，其采用粗对焦和细细对焦相结合的方式，一方面保证了测量精度，另一方面通过手动调节的方式，降低了生产成本。

本申请实施例公开了：一种高精度光学实验平台设备，包括粗对焦机构、与所述粗对焦机构相对设置的细对焦机构、设置在所述粗对焦机构上的检测机构，所述粗对焦机构包括驱动所述检测机构在Z轴方向上运动的驱动单元，所述细对焦机构包括实验平台、分别驱动所述实验平台在X轴、Y轴、Z轴方向上运动的第一调节单元、第二调节单元和第三调节单元，所述第一调节单元、第二调节单元和第三调节单元均包括固定设置在所述实验平台上的调节块、能够对所述调节块施加第一作用力的螺旋测微件、能够对所述调节块施加第二作用力的复位弹簧，所述第一作用力和第二作用力大小相同且方向相反。

进一步地，所述复位弹簧的一端和所述螺旋测微件分别抵接所述调节块的相对两个侧面。

进一步地，所述实验平台的下方设置有支撑台，所述实验平台的底部滑动设置在所述支撑台上。

进一步地，所述实验平台上设置有通电能产生磁性的线圈，所述线圈用于在所述实验平台运动至预设位置时吸附所述支撑台。

进一步地，所述实验平台的底部采用镜面处理。

进一步地，所述螺旋测微件包括旋钮部、刻度部和测微螺杆，所述旋钮部绕自身轴线转动能驱动所述测微螺杆沿所述轴线往复运动。

进一步地，所述粗对焦机构包括沿Z轴方向延伸的丝杆、设置在所述丝杆的上端并驱动所述丝杆绕自身转动的旋钮，所述检测机构设置在所述丝杆上并在所述丝杆的驱动下沿Z轴方向往复运动。

进一步地，所述丝杆和所述检测机构之间设置有减震机构，所述减震机构包括设置在所述丝杆上且位于竖直平面内的第一板件，位于所述第一板件相对两端且垂直设置在所述第一板件上的第二板件和第三板件，横设在第一板件和第二板件之间的第四板件，所述检测机构设置在所述第四板件上。

进一步地，所述第一板件平行于第四板件，所述第二板件平行于第三板件。