[实用新型]一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置

摘要

本实用新型提供了一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置，包括安装托盘、安装支架和喷嘴，安装托盘包括连接杆和两个托盘片，托盘片之间还预留供吸盘通过的安装间隙，安装托盘上预留有滑动轨道，滑动轨道设置于托盘片上，吸盘下方机体上预留供螺栓Ⅰ连接的螺纹孔Ⅰ，安装托盘还连有安装支架；安装支架包括第一调整板、连接板和第二调整板，连接板上还预留供喷嘴通过的安装口，第一调整板和第二调整板还分别设置于连接板的两侧，第一连接板和第二连接板上均预留调整通孔，第一连接板通过螺栓Ⅱ连接于安装托盘，第二连接板还连接有喷嘴。本实用新型能够保证倒角机在更换加工硅片尺寸后磨削时冷却效果，避免表面烧伤和碎片。

主权项

1.一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置，安装于硅片倒角机上，其特征在于：包括安装托盘、安装支架和喷嘴，所述安装托盘包括连接杆和两个托盘片，所述连接杆为弧形杆，两个托盘片对称连接于连接杆的两端，托盘片之间还预留供吸盘通过的安装间隙，所述安装托盘上预留有滑动轨道，所述滑动轨道设置于所述托盘片上，所述滑动轨道为矩形轨道，两个托盘片上的滑动轨道还平行于安装间隙中轴线，滑动轨道边沿还标注有刻度，吸盘下方机体上预留供螺栓Ⅰ连接的螺纹孔Ⅰ，所述安装托盘还通过螺栓Ⅰ固定于吸盘的下方，所述安装托盘还连有安装支架；/n所述安装支架包括第一调整板、连接板和第二调整板，所述连接板为矩形板，连接板上还预留供喷嘴通过的安装口，所述第一调整板和所述第二调整板还分别设置于连接板的两侧，所述第一调整板和所述第二调整板还互相垂直，第一调整板和第二调整板还分别通过侧边垂直连接于连接板相邻的两个边；所述第一调整板和所述第二调整板上均预留调整通孔，所述第一调整板通过螺栓Ⅱ连接于安装托盘，所述第二调整板还连接有所述喷嘴；所述喷嘴设置于所述安装口处。/n