[实用新型]一种碳化装置有效
| 申请号： | 201920633592.9 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN210104054U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 姚铮 | 申请（专利权）人： | 北京真空电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/20 | 分类号： | C23C8/20 |
| 代理公司： | 北京爱普纳杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 11419 | 代理人： | 何自刚 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种碳化设备，尤其是一种碳化装置。包括位于真空密封装置内的碳化平台和加热装置，其特征在于，所述碳化平台下方设置有可安装铍杆并使得所述铍杆在所述加热装置内上下移动的碳化升降装置。所述升降支撑座上方设置有伺服电机，所述升降支撑座内设置有提升滑块，所述伺服电机的驱动提升杆与提升滑块套接，所述提升滑块上设置有升降杆。本装置通过采用了碳化升降装置实现了铍杆的动态放置，从而使铍杆实现可控式碳化，进而碳化后的铍杆膜层致密度好，无需进行反复碳化，极大了降低了时间和人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化 装置 | ||
【主权项】：
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