[实用新型]一种温度压力复合传感器有效
| 申请号： | 201920616552.3 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN209541953U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 李泽裔;林雄威;鲁圣国;姚英邦;陶涛;梁波 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01K7/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 510060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种温度压力复合传感器，包括带有第一感应单元和第二感应单元的压电感应层，其中，第一感应单元的形状为棱台状，第二感应单元的形状为半球状，且第一感应单元的高度大于等于第二感应单元的高度；位于压电感应层上表面的第一感应电极层；位于压电感应层下表面的第二感应电极层；位于第二感应电极层下表面的温度感应层；位于温度感应层下表面的第三感应电极层。可见，压电感应层具有棱台状的第一感应单元和半球状的第二感应单元，检测压力时第一感应单元受到压力而形变，但是各侧面发生的形变量不同，实现对压力的三维检测；第一感应单元和第二感应单元感应不同范围的压力值，优化压力传感特性曲线的线性度，从而提高压力测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 感应单元 感应电极层 压电感应 下表面 复合传感器 温度感应层 温度压力 半球状 棱台状 感应单元感应 压力传感特性 三维检测 压力测量 形变 上表面 线性度 形变量 侧面 检测 申请 优化 | ||
【主权项】：
1.一种温度压力复合传感器，其特征在于，包括：带有第一感应单元和第二感应单元的压电感应层，其中，所述第一感应单元的形状为棱台状，所述第二感应单元的形状为半球状，且所述第一感应单元的高度大于等于所述第二感应单元的高度；位于所述压电感应层上表面的第一感应电极层；位于所述压电感应层下表面的第二感应电极层；位于所述第二感应电极层下表面的温度感应层；位于所述温度感应层下表面的第三感应电极层。
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