[实用新型]一种光刻设备有效
| 申请号： | 201920608193.7 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN209930814U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 黄逸凡;张明辉;郑教增;姜杰;陈淮阳 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K7/20 | 分类号： | H05K7/20 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种光刻设备，该光刻设备包括传输装置、气浴装置、温度控制装置和洁净度控制装置；该光刻设备中的温度控制装置和洁净度控制装置，分别对气浴装置的气体管路中传输的气浴气体进行温度和洁净度的调节，能够将气体管路中传输的气浴气体的温度调节至预设温度范围内，以及将气体管路中传输的气浴气体的洁净度调节至预设洁净度范围内，从而在气浴气体对传输装置的各个区域进行气浴时，精确控制传输装置中传输的待光刻样品的温度和洁净度，以使待光刻样品通过传输装置传输的过程中具有合适的温度和较高的洁净度，进而提高光刻设备的光刻质量。 | ||
| 搜索关键词： | 洁净度 光刻设备 传输 传输装置 气体管路 光刻 温度控制装置 控制装置 预设 本实用新型 控制传输 温度调节 | ||
【主权项】：
1.一种光刻设备，其特征在于，包括：传输装置、气浴装置、温度控制装置和洁净度控制装置；/n所述传输装置至少包括待光刻样品的存储部和机械手；所述待光刻样品的存储部用于存储待光刻样品；所述机械手用于抓取和传输所述待光刻样品；/n所述气浴装置包括气体管路，所述气体管路包括气浴入口以及至少一个气浴出口，所述气浴入口接收气浴气体后传输至所述气体管路的所述气浴出口；/n所述待光刻样品的存储部朝向所述待光刻样品的正面一侧、所述机械手朝向所述待光刻样品的正面一侧以及所述机械手朝向所述待光刻样品的背面一侧的至少一处设置有所述气浴出口；/n所述温度控制装置设置于所述气体管路上；所述温度控制装置用于将所述气体管路中传输的气浴气体的温度调节至预设温度范围内；/n所述洁净度控制装置设置于所述气体管路中；所述洁净度控制装置用于将所述气体管路中传输的气浴气体的洁净度调节至预设洁净度范围内。/n
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