[实用新型]一种真空装卸腔充气装置有效
| 申请号： | 201920599272.6 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN210004144U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 王楠;钟祺;刘逸欣 | 申请（专利权）人： | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/06 | 分类号： | F17C5/06;F17C13/02 |
| 代理公司： | 35100 福州元创专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 362700 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空装卸腔充气装置，包括压力调节装置、压力表、进气开关阀以及用于连接各部件的细软管，所述压力调节装置前端经细软管与氮气供应装置连接，后端经细软管依次连接压力表和进气开关阀，所述进气开关阀后端经细软管与真空装卸腔连接，以为其充气。该装置不仅结构设计合理，而且使用高效、便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 细软管 进气开关阀 压力表 压力调节装置 装卸腔 氮气供应装置 本实用新型 充气装置 依次连接 充气 | ||
【主权项】：
1.一种真空装卸腔充气装置，其特征在于，包括压力调节装置、压力表、进气开关阀以及用于连接各部件的细软管，所述压力调节装置前端经细软管与氮气供应装置连接，后端经细软管依次连接压力表和进气开关阀，所述进气开关阀后端经细软管与真空装卸腔连接，以为其充气。/n
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