[实用新型]一种真空装卸腔充气装置

说明书

本实用新型涉及一种真空装卸腔充气装置，包括压力调节装置、压力表、进气开关阀以及用于连接各部件的细软管，所述压力调节装置前端经细软管与氮气供应装置连接，后端经细软管依次连接压力表和进气开关阀，所述进气开关阀后端经细软管与真空装卸腔连接，以为其充气。该装置不仅结构设计合理，而且使用高效、便捷。

技术领域

本实用新型涉及一种真空装卸腔充气装置。

背景技术

近年来，半导体行业兴起，一般将衬底片、工具等通过真空装卸腔load lock送入手套箱，它是利用真空方式减少进入手套箱的杂质。充抽load lock时用手套箱的氮气充气，手套箱保养时具有砷、磷等化合物颗粒，通过对load lock充气，这些物质被带到loadlock中，会对操作人员造成身体伤害。现有的load lock充气系统是利用手套箱中带有杂质污染物颗粒的氮气充气，设计不合理，对操作人员有伤害，且充气速度慢。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种真空装卸腔充气装置，该装置不仅结构设计合理，而且使用高效、便捷。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是：一种真空装卸腔充气装置，包括压力调节装置、压力表、进气开关阀以及用于连接各部件的细软管，所述压力调节装置前端经细软管与氮气供应装置连接，后端经细软管依次连接压力表和进气开关阀，所述进气开关阀后端经细软管与真空装卸腔连接，以为其充气。

进一步地，所述压力调节装置为一压力调节阀。

进一步地，所述压力调节装置与进气开关阀的距离不小于10cm。

进一步地，所述进气开关阀与真空装卸腔的距离的不小于15cm。

进一步地，所述真空装卸腔上连接有真空泵，以抽掉真空装卸腔中气体达到真空。

进一步地，所述真空泵为无油真空泵。

相较于现有技术，本实用新型的有益效果是：结构设计简单、合理，通过本实用新型的充气装置，易于充气恢复真空装卸腔中压强，便于存取衬底以及保养工具等器件，避免了手套箱中含有其他物质的氮气对操作员造成身体危害，使用高效、便捷，具有很强的实用性和广阔的应用前景。

附图说明

图1是本实用新型实施例的结构示意图。

图中，1、压力调节装置，2、压力表，3、进气开关阀，4、压力调节装置前细软管，5、压力调节装置后细软管，6、进气开关阀后细软管，7、真空装卸腔，8、真空泵。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

本发明提供一种真空装卸腔充气装置，如图1所示，包括压力调节装置1、压力表2、进气开关阀3以及用于连接各部件的细软管，压力调节装置1前端经细软管4与氮气供应装置连接，后端经细软管5依次连接压力表2和进气开关阀3，进气开关阀3后端经细软管6与真空装卸腔7连接，以为其充气。

其中，压力调节装置1为一压力调节阀。为了保证调节压力的稳定，压力调节装置1与进气开关阀3的距离不小于10cm，进气开关阀3与真空装卸腔7的距离的不小于15cm。

真空装卸腔7上连接有真空泵8，以抽掉真空装卸腔7中气体达到真空。在本实施例中，真空泵为无油真空泵。

本实用新型工作时，先通过真空泵8抽掉真空装卸腔7中残余的含有有害物质的氮气，然后打开进气开关阀3对真空装卸腔7充气，观察压力表2中压力值，以此通过压力调节装置1调节充气压力的大小。

以上是本实用新型的较佳实施例，凡依本实用新型技术方案所作的改变，所产生的功能作用未超出本实用新型技术方案的范围时，均属于本实用新型的保护范围。