[实用新型]一种磁控溅射过程中稳定传输基片载具的装置有效
| 申请号： | 201920585963.0 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN209778989U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李贵成;钟莉霞;梅小艳;廖精巧;李红有;杨子龙 | 申请（专利权）人： | 泸州金能移动能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/35;H01L31/18 |
| 代理公司： | 51223 成都华风专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 代述波 |
| 地址： | 646000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射过程中稳定传输基片载具的装置，包括：腔体、设在腔体底部的传动机构、滚动设置在传动机构上的载具、设在载具一侧的永磁体、设在载具一侧且与永磁体不同侧的靶材；所述载具包括：载物板、设在载物板上的侧滑轨、固定在腔体顶部且与所述侧滑轨配合的若干个第一传动轮；通过采用该装置，避免了载物板因移动中左右晃动，实现所述载具的稳定传输，从而避免基片上沉积的膜厚度明显变化不均匀，不影响基片的正常生产效率的同时，提高了基片的生产质量，增强了生产效益。 | ||
| 搜索关键词： | 载具 载物板 稳定传输 侧滑轨 永磁体 腔体 本实用新型 磁控溅射 腔体顶部 生产效率 影响基片 左右晃动 不均匀 靶材 动轮 沉积 滚动 生产 移动 配合 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射过程中稳定传输基片载具的装置，其特征在于，包括：腔体、设在腔体底部的传动机构、滚动设置在传动机构上的载具、设在载具一侧的永磁体、设在载具一侧且与永磁体不同侧的靶材；所述载具包括：载物板、设在载物板上的侧滑轨、固定在腔体顶部且与所述侧滑轨配合的若干个第一传动轮；所述传动机构包括：固定在所述腔体底部的轴承、与轴承连接的转轴、固定在转轴一端的第二传动轮和另一端的双向皮带轮、驱动连接于所述皮带轮的驱动电机；所述载物板的底部开设有与第二传动轮配合的下滑轨；所述载物板靠近所述靶材的一侧开设有用于承载基片的载物槽；所述载物槽的边缘上设有弹簧夹；所述载具与永磁体之间设有固定在腔体顶部的防护板。/n
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