[实用新型]一种硅片分选设备有效

专利信息
申请号: 201920582734.3 申请日: 2019-04-25
公开(公告)号: CN210788221U 公开(公告)日: 2020-06-19
发明(设计)人: 石坚;朱棣;李杰;于友;刘世伟 申请(专利权)人: 山东九思新材料科技有限责任公司
主分类号: B07C5/06 分类号: B07C5/06;B07C5/38;B07C5/02
代理公司: 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 37249 代理人: 张营磊
地址: 273213 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及硅片生产领域,具体是一种硅片分选设备,包括水平设置的支撑安装板,支撑安装板的中间位置竖直设置有限位转动套,限位转动套的内部配合设置有限位转动柱,限位转动柱的向上伸出限位转动套,限位转动柱的上端水平同轴设置有转动变位圆台,支撑安装板的边缘配合转动变位圆台等角度设置有四组弧面支撑板,通过单电机驱动导流,使得装置内部产生负压,通过各个阀门的配合,使得上端的气垫板配合硅片进行分选操作,气垫的加入避免了硅片与接触面之间有空气,造成分选误差,显著提升分选质量,使得分选的精度和效率显著提升,配合弧型设置的导料板,将硅片导出,提升了合格硅片的运输安全性。
搜索关键词: 一种 硅片 分选 设备
【主权项】:
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