[实用新型]一种多晶圆测试装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶圆测试装置，包括机体、第一固定板、放置槽、凹槽和固定槽，所述机体的顶面设置有拉杆，所述拉杆与机体的连接处设置有第一转轴，所述第一转轴的侧面上设置有第一异形弹簧，所述第一固定板固定于拉杆靠近机体的一端侧面上，其中；所述放置槽开设于机体顶部靠近第一固定板的一侧，所述放置槽的顶部设置有第二固定板，所述第二固定板与机体的连接处设置有第二转轴；该多晶圆测试装置，设置有放置槽可以放置用于检测的感应笔，方便了对感应笔的携带，且放置槽内部的凹槽和固定槽可以对感应笔进行固定，避免了感应笔在放置的时候的晃动，且凹槽和固定槽内侧的胶层可以对感应笔的外侧起到保护的作用。

主权项

1.一种多晶圆测试装置，包括机体（1）、第一固定板（5）、放置槽（6）、凹槽（10）和固定槽（11），其特征在于：所述机体（1）的顶面设置有拉杆（2），所述拉杆（2）与机体（1）的连接处设置有第一转轴（3），所述第一转轴（3）的侧面上设置有第一异形弹簧（4），所述第一固定板（5）固定于拉杆（2）靠近机体（1）的一端侧面上，其中；所述放置槽（6）开设于机体（1）顶部靠近第一固定板（5）的一侧，所述放置槽（6）的顶部设置有第二固定板（7），所述第二固定板（7）与机体（1）的连接处设置有第二转轴（8），所述第二转轴（8）的侧面上设置有第二异形弹簧（9）；所述凹槽（10）开设于放置槽（6）内部的底面，所述固定槽（11）开设于第二固定板（7）靠近凹槽（10）一侧的底面上。